离子氮化法具有以下一些优点：

1、由于离子氮化法不是依靠化学反应作用，而是利用离子化了的含氮气体进行氮化处理，所以工作环境十分清洁而无须防止公害的特别设备。

2、由于离子氮化法利用了离子化了的气体溅射作用，因而与以往的氮化处理相比可显著的缩短处理时间（离子氮化的时间仅为普通气体渗氮时间的1/3~1/5）。

3、由于离子氮化法利用辉光放电直接进行加热，也无需特别的加热和保温设备，且可以获得均匀的温度分布，与间接加热方式相比加热效率可提高2倍以上，达到节能效果（能源消耗仅为气体渗氮的40%~70%）。

4、由于离子氮化实在真空中进行，因而可获得无氧化的加工表面也不损害被处理工件的表面光洁度。而且由于是在低温下进行处理，被处理工件的变形量极小，处理后无需再进行加工，极适合于成品的处理。

5、通过调节N、H、X等气体的比例，可自由地调节化合物层的组成，从而获得预期的机械性能。

6、离子氮化从380℃起即可进行氮化处理，此外，对钛等合金特殊材料也可在850℃的高温下进行特殊的离子氮化处理，因而适应范围十分广泛。

7、由于离子氮化是在低气压下以离子注入的方式进行，因而耗气量极少（仅为气体渗氮的百分之几），可以大大降低处理成本。